MEMS steht für "Mikroelektronisch-Mechanische Systeme". Das sind Sensoren zur Messung unterschiedlicher physikalischer Größen wie Beschleunigung, Drehrate, Druck, Durchflussmenge oder Neigungswinkel. Im Gegensatz zu herkömmlichen Sensoren sind MEMS nach den Methoden der Halbleitertechnik gefertigt. Dadurch können diese Sensoren in mikroskopischen Größenabmessungen hergestellt werden. Heute ist es möglich, auch komplexe MEMS-Sensoren mit mehreren Bewegungsachsen und vielen Freiheitsgraden in Gehäusen von der Fläche eines Stecknadelkopfes unterzubringen. Und gegenüber ihren konventionellen Sensor-Kollegen haben MEMS noch einen weiteren Vorteil, der ebenfalls auf ihrer Fertigungsweise beruht: Weil MEMS wie Computerchips gefertigt werden, ist es auch möglich, Schaltkreise zur Messwert-Vorkonditionierung und sogar die Auswertelogik mit dem Sensor zu einem mikroelektronischen Bauteil zu vereinen und damit eine hohe Funktionalität auf kleinstem Bauraum zu integrieren.

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