Von Stefan Stelzl

Kapazitive Sensoren sind konzipiert für berührungslose Weg-, Abstands- und Positionsmessungen. In den Messungen extrem stabil und nanometergenau auflösend, werden kapazitive Sensoren capaNCDT besonders für hochpräzise Anwendungen in Labor und Industrie eingesetzt.

Die Sensoren von Micro-Epsilon haben sich seit Jahrzehnten in unterschiedlichen Anwendungen bewährt. Aufgrund der zuverlässigen Technologie werden sie unter anderem in sicherheitskritischen Bereichen eingesetzt. Mit mehr als 25 Standardsensoren mit Messbereichen von 50 μm bis 10 mm lassen sich zahlreiche Anwendungsfelder abdecken. Die Sensormodelle sind in zylindrischer Bauform – sowohl mit Stecker als auch integriertem Kabel als Flachsensor und in Leiterplattenbauform – erhältlich. Dabei kommen verschiedene Materialien und Fertigungstechnologien zum Einsatz.

Neben der Standard-Ausführung aus Edelstahl beziehungsweise Invar sind auch Sensoren aus Titan erhältlich. Eine Besonderheit bieten die ECT-Sensoren. ECT steht für Embedded Capacitor Technology, bei der das Sensorelement in ein besonders stabiles Trägerelement eingebettet wird. Diese ECT-Sensoren zeichnen sich durch eine erhöhte Langzeit- und Temperaturstabilität aus und sind besonders für Tiefsttemperatur, UHV und Reinraum geeignet. Die Messelektrode im ECT-Sensor ist flexibel in der geometrischen Gestaltung. Als Plattenelektrode kann sie, je nach Kundenwunsch, in unterschiedliche geometrische Formen gebaut werden.

Messen mit kapazitiven Sensoren

Als elektromagnetisches Verfahren misst ein kapazitives Messsystem standardmäßig auf alle leitfähigen Objekte mit gleichbleibender Empfindlichkeit und Linearität. Das System wertet den Blindwiderstand des Plattenkondensators aus, der sich mit dem Abstand ändert. Kapazitive Sensoren können unter bestimmten Bedingungen auch gegen Isolatorwerkstoffe messen, wobei in der Regel die Sensormasse als Gegenelektrode fungiert und der Isolatorwerkstoff als Koppelmedium. Ein annähernd lineares Ausgangssignal wird auch für Isolatoren durch elektronische Beschaltung möglich.

www.micro-epsilon.de

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