Fachartikel aus MECHATRONIK 5/2013, S. 42 bis 43
Wie MEMS die Technik und unser Leben verändern
Winzlinge sorgen für mehr als nur Sicherheit
Sonntag Nachmittag im Frühjahr: Angenehme Temperaturen und die wieder erwachte Natur locken Biker zu einem kleinen Ausritt. Es fährt sich entspannt im milden Sonnenlicht. Doch dann: aus einer Seitenstraße biegt ein PKW, übersieht den Motorradfahrer. Plötzlicher Adrenalinstoß, Vollbremsung! Der Reifen quietscht, das Motorrad stellt sich ein wenig schräg – aber es bleibt unter Kontrolle! Ein Unfall kann vermieden werden – dank eines kleinen Helfers: Ein MEMS-Sensor hat dafür gesorgt, dass das Motorrad-ABS ein Ausbrechen des Zweirads vermeiden konnte.
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MEMS steht für "Mikroelektronisch-Mechanische Systeme". Das sind Sensoren zur Messung unterschiedlicher physikalischer Größen wie Beschleunigung, Drehrate, Druck, Durchflussmenge oder Neigungswinkel. Im Gegensatz zu herkömmlichen Sensoren sind MEMS nach den Methoden der Halbleitertechnik gefertigt. Dadurch können diese Sensoren in mikroskopischen Größenabmessungen hergestellt werden. Heute ist es möglich, auch komplexe MEMS-Sensoren mit mehreren Bewegungsachsen und vielen Freiheitsgraden in Gehäusen von der Fläche eines Stecknadelkopfes unterzubringen. Und gegenüber ihren konventionellen Sensor-Kollegen haben MEMS noch einen weiteren Vorteil, der ebenfalls auf ihrer Fertigungsweise beruht: Weil MEMS wie Computerchips gefertigt werden, ist es auch möglich, Schaltkreise zur Messwert-Vorkonditionierung und sogar die Auswertelogik mit dem Sensor zu einem mikroelektronischen Bauteil zu vereinen und damit eine hohe Funktionalität auf kleinstem Bauraum zu integrieren.
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