Auf die Höhe kommt es an

Kurze Messzeiten, hohe Reproduzierbarkeit und berührungsloses Arbeiten – damit setzt sich das optische Verfahren gegen taktile Messgeräte durch.

Das neue Topmap 500 MS: Berührungslose, hochpräzise, großflächige Oberflächenmessung mit Licht. (Bild: Polytec)

Durch die berührungslose Messwerterfassung eignet sich die Weißlicht-Interferometrie in der Oberflächenmessung speziell für weiche Materialien, die durch taktile Verfahren beschädigt werden könnten, sowie für Oberflächen mit unterschiedlicher Beschaffenheit. Eine ihrer typischen Anwendung ist die Messung mikroskopisch winziger Strukturen innerhalb eher kleiner Gesichtsfelder mit Abmessungen, die für gewöhnlich bei wenigen Quadratmillimetern liegen. Dabei sind in der Regel maximale vertikale Verfahrwege von etwa 500 µm bis 2 mm üblich.

Vielen Anwendungen im Bereich der Qualitätskontrolle ist damit aber nicht gedient. Da hier häufig Ebenheiten, Parallelitäten, Winkel zwischen mehreren Flächen oder Stufenhöhen geprüft werden müssen, ist die flächenhafte, mikroskopisch hohe Auflösung nicht notwendig. Hohe Genauigkeiten in vertikaler Richtung bei gleichzeitig großem Messfeld dagegen sind durchaus gefordert. Für solche Anwendungen bietet die Weißlicht-Interferometrie passende Lösungen. Im Gegensatz zu anderen optischen Verfahren ist bei der Weißlicht-Interferometrie die Messunsicherheit in vertikaler Richtung nahezu unabhängig von der Messfeldgröße.

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