Neue Produkte vom 11/25/2015

Piezosystem Jena

Positionierer angepasst an den industriellen Einsatz

Piezosystem Jena erweitert seine Objektivpositionierer-Reihe MIPOS um zwei neue Industrieprodukte, die an einer Maschine oder Schiene angebracht werden. Sie können in der Mess- und Prüftechnik, Optik oder auch Halbleiterindustrie eingesetzt werden.

Der neue MIPOS 140 aus der Objektivpositionierer-Reihe (Bild: piezosystem jena)

In den meisten Fällen werden Objektivpositionierer an den Revolver eines Mikroskops direkt angebracht. So werden auch die Positionierer der Serie MIPOS von Piezosystem Jena stabil an das Mikroskop angeschraubt. Diese Serie wird um zwei neue Positionierer erweitert, die nicht mehr an einem Mikroskop angebracht werden, sondern an einer Maschine oder Schiene angeschraubt werden können.

Spezielle Anforderungen, die erfüllt werden, sind einerseits die durch die genaue Beschaffenheit der Auflagefläche bei der MIPOS 250 SG, sehr hohe Parallelität, andererseits findet durch den Einsatz der MIPOS 140 keine Verlängerung der optischen Achse in dem Aufbau statt.

MIPOS 140

Bei nachträglich eingebauten Objektiv-Positionierern kommt es zu einer unerwünschten Verlängerung der optischen Achse. Der Abstand zwischen Objektiv und Probe verkürzt sich. Dies kann zu Kollisionen zwischen der Optik und dem zu untersuchenden Objekt führen. Aufgrund des speziellen Konstruktionsprinzips wird die optische Achse bei der MIPOS 140 nicht verlängert. Die Position der Optik bleibt nach dem Einbau unverändert erhalten und der Fokuspunkt verbleibt an der gewünschten eingestellten Position. Die MIPOS 140 OEM bietet hochpräzise Positionierung von Objektiven mit einem Gewicht von bis zu 500 g.

Mit einem Stellbereich von 100 µm im geregelten beziehungsweise 140 µm im ungeregelten Betrieb erreicht sie eine Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich. Sie kann mit DMS, kapazitiven oder alternativen Sensoren zur Positionsbestimmung ausgestattet werden, wodurch Kriechen und Hysterese vermieden werden. Die MIPOS 140 OEM kann in beliebiger Einbaulage aufrecht beispielsweise in Waferinspektionsmaschinen, aber auch waagerecht in optischen Bänken und Laseraufbauten verwendet werden.

MIPOS 250 SG

Der Objektivpositionierer MIPOS 250 SG verfügt über einen Verstellbereich von 250 µm im open loop Betrieb. Der Positionierer ist so konzipiert, dass er an eine Planfläche angeschraubt werden kann, da er eine außerordentlich hohe Ebenheit aufweist. Diese kann eine optische Bank sein oder eine Schiene innerhalb einer Maschine. Die hohe Parallelität der Fläche macht diese MIPOS ideal für einen Einsatz in der Mess- und Prüftechnik, sowie in der Halbleiterindustrie beispielsweise in der Maskeninspektion.

Die für Standardmikroskopgewinde (Zeiss, Leica, Olympus, Nikon, Mitutoyo) erhältlichen Einschraubringe machen die MIPOS 250 universell einsetzbar. Das bewährte Parallelogrammprinzip garantiert dabei eine hochparallele Bewegung ohne Spiel und ohne Beeinflussung der optischen Achse. Somit ist eine Feinfokussierung auch mit hochauflösenden Objektiven möglich. Ausgestattet mit einem Dehnmessstreifensensor werden bei der MIPOS Drift und Hysterese minimiert. (as)

www.piezosystem.com