Zur Feinpositionierung eines OP-Mikroskops werden zum einen kapazitive Wegsensoren eingesetzt. Bei der kapazitiven Messung bilden Sensor und Messobjekt die Elektroden eines elektrischen Kondensators. Durchfließt sie ein konstanter Wechselstrom, so ist die Amplitude der Wechselspannung proportional zum Abstand zwischen dem Sensor und dem Messobjekt. Kapazitive Sensoren sind extrem stabil und lösen nanometergenau auf, daher werden sie besonders für hochpräzise Anwendungen eingesetzt. Zum Beispiel bei chirurgischen Eingriffen, wenn eine perfekte Sicht auf den Operationsbereich unabdingbar ist.
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