Nanostrukturen mit Hilfe von CMoS-Prozessen.
(Fachartikel aus MECHATRONIK 3-4/2011, S. 48 bis 51) Konventionelle optische Sensoren benötigen zur spektral- und polarisationsselektiven Detektion zusätzliche optische Bauelemente. Der vorliegende Beitrag stellt dagegen ein Konzept vor, bei dem diese filternde Wirkung durch optische Nanostrukturen wie beispielsweise Subwellenlän- gengitter erzielt wird, die direkt in den Metallschichten eines CMOS-Prozesses erzeugt werden. Auf diese Weise entstehen Hybridelemente aus filternden Nanostrukturen und Photodioden mit neuer optischer Funktionalität („More than Moore“). [weiter...]