Fachartikel aus MECHATRONIK 4/2000, S. 53 bis 55

Nanopositionierung durch Thermohydraulik

Das Prinzip der Thermohydraulik stellt eine interessante Alternative etwa zu den bekannteren Piezoaktoren dar. Hauptvorteil ist der große Stellbereich von einem Millimeter bis hinunter in den Nanometerbereich. Dadurch sind keine separaten Aktoren für die Grob- und Feinmanipulation erforderlich.