Fachartikel aus MECHATRONIK 3/2001, S. 74 bis 77

Chipstrukturierung mit mikro-abrasivem Druckluftstrahlen (MADS)

Sandstrahlen in der Mikrosystemtechnik

Das mikro-abrasive Druckluftstrahlen ist ein Fertigungsverfahren, bei dem feinkörniges Strahlmittel in einem Strahlgerät mittels Druckluft auf nahezu Schallgeschwindigkeit beschleunigt wird, um beim Aufprall auf eine Substratoberfläche Material abzutragen. Das aus dem Maschinenbau als Reinigungsverfahren bekannte 'Sandstrahlen' lässt sich vorteilhaft für die Strukturierung von Chips in der Mikrosystemtechnik nutzen.