News - Forschung und Entwicklung vom 08/04/2011
FRT GmbH
Erfolgreiches europäisches Halbleiterprojekt SEAL
Ein positives Fazit gab es nach einem Jahr für das EU-finanzierte Projekt „Semiconductor Equipment Assessment Leveraging Innovation“ (SEAL), das die Entwicklung neuer Prototypen von Halbleiter-Fertigungs-Equipment und Verbesserungen bestehender Anlagen für die nächste Generation von Halbleiter-Technologien und Bausteinarchitekturen zum Ziel hat.
Bei dem im Juli 2011 veröffentlichten 12-Monats-Report, durchgeführt von der EU und dem Review-Team, schnitten Fries Research & Technology GmbH (FRT), die Siltronic AG und das Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) sehr gut ab. Die Konstellation dieser Partner zeigt die Intention des Projekts: die gemeinsame Förderung der Marktreife innovativer und produktionsfähiger Anlagen sowie deren Entwicklung in Zusammenarbeit mit Anwendern und Herstellern. Mit den 38 Projektpartnern aus ganz Europa ist es möglich, die „kritische Masse“ für erfolgreiche Forschung und Entwicklung zusammen zu bringen. Dabei sollen vor allem kleine und mittelständische Unternehmen unterstützt werden, die von dem umfangreichen Netzwerk aus führenden europäischen Halbleiterherstellern, Materialproduzenten und verschiedenen Forschungseinrichtungen profitieren können. SEAL will die starke europäische Infrastruktur im Bereich der 300-Millimeter-Wafer nutzen. Das Projekt hat eine Laufzeit von drei Jahren und verfügt über ein Gesamtbudget von mehr als 14 Millionen Euro. FRT bringt sein Know-how in der optischen Multisensor-Oberflächenvermessung und Wafer-Metrologie ein. „Das erste Jahr hat gezeigt: Wir können gemeinsam Impulse setzen“, zeigt sich Dr. Thomas Fries von FRT überzeugt. Halbleiteranlagen werden für die Produktion verschiedenster Elemente benötigt, wie zum Beispiel Mikroprozessoren, Speicher, MEMS oder Sensoren. Diese sind für die meisten elektrischen und elektronischen Geräte und Maschinen mittlerweile unverzichtbar. Die nötigen Investitionen für einen führenden, Halbleiter produzierenden, Betrieb sind technisch anspruchsvoll und eine große finanzielle Hürde. Schnell können sich dabei die Gesamtkosten auf etwa 3 Milliarden Euro summieren.