Neue Produkte vom 03/02/2012
IBS Precision Engineering
3D-Koordinaten-Messmaschine im Forschungseinsatz
IBS hat die nach eigenen Angaben genaueste am Markt erhältliche 3D-Koordinaten-Messmaschine an das Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (IOM) in Leipzig übergeben. Beim IOM werden Oberflächen mit Ionenstrahlen und Plasma für wissenschaftliche Untersuchungen behandelt. Mit der Isara 400 sollen die so geschaffenen Oberflächen im Detail vermessen werden. Mit Außenmaßen von 2,3 m × 2,0 m × 1,9 m ist die extrem präzise, hoch empfindliche und 2500 kg schwere Isara 400 für den Einsatz im Hochtechnologiesektor geeignet. Bei dem großen Messvolumen von 400 mm × 400 mm × 100 mm bleibt pro Raumrichtung eine eindimensionale Messunsicherheit von nur 45 nm. Drei Planspiegel und drei Laserinterferometer messen die Position eines Objektes auf einem Tisch gemäß dem Abbé-Prinzip.
Um Parallaxenfehler zu vermeiden, haben die drei Laserinterferometer ihren virtuellen Schnittpunkt im Messpunkt des Messtasters und sind zusammen mit dem Messtaster in einem steifen Spiegeltisch aus Siliziumkarbid (SiC) integriert. Unter Verwendung von Luftlagern über zwei Führungsschienen aus Granit positioniert sich der Spiegeltisch in Z-Richtung. Hierbei zeigen die Interferometer immer auf den Mittelpunkt der Messtasterspitze und erfüllen damit das Abbé-Prinzip in 3D. Ebenfalls aus dem steifen und thermisch stabilen Werkstoff Siliziumkarbid gebaut und auf einem Spiegeltisch platziert ist der Produkttisch. Er bewegt sich unter Verwendung von Luftlagern in X- und Y-Richtung über eine Granitplatte.
Dieser Spiegeltisch besteht aus einem monolithischen Block aus Zerodur mit reflektierender Beschichtung, welche direkt auf drei extrem flachen Oberflächen so aufgetragen ist, dass sie drei Spiegel bilden. Zwei Führungsschienen aus Granit bilden den stabilen Grundrahmen der Messmaschine, eine für die X-Y-Achsen und eine für die Z-Achse. Die luftgelagerten Direktantriebe für alle drei Richtungen sind jeweils unabhängig von der angetriebenen Komponente.
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