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Fachartikel aus MECHATRONIK Sonderheft Antriebstechnik, S. 24 bis 25

Drei piezobasierte Prinzipien für Positionieranwendungen

Klein und vielseitig

Piezokeramische Antriebskonzepte ermöglichen heute für praktisch jede Aufgabenstellung eine passende Lösung. Selbst bei differierenden Randbedingungen.

Bild: Physik Instrumente
Der Mikrostelltisch mit Piezoschreitmotor arbeitet mit einem Stellweg von 30 mm und einer Höchstgeschwindigkeit von 10 mm/s. Die Positioniergenauikeit liegt bei 0,5 nm. (Bild: Physik Instrumente)

Das Einsatzspektrum piezobasierter Antriebe und Positioniersysteme ist breit gefächert. Typische Applikationen finden sich in Mikroskopieanwendungen ebenso wie bei Mikromanipulationen, zum Beispiel bei Materialdotierungen und Zellpenetration oder in der Photonik sowie beim Lasertuning. So gehört beispielsweise die adaptive Blendenverstellung an sogenannten Multileaf-Kollimatoren in der Strahlentherapie zu den klassischen Anwendungsgebieten entsprechend ausgelegter Ausführungen. Aus der Halbleiterfertigung lassen sich piezobasierte Antriebssysteme ebenfalls nicht mehr wegdenken und auch beim Präzisionshandling im industriellen Bereich sind sie oft das Mittel der Wahl. Die in Karlsruhe ansässige Firma Physik Instrumente (PI) hat entsprechende Positionier- und Handlingsysteme in großer Auswahl und basierend auf unterschiedlichen piezoelektrischen Funktionsprinzipien im Programm, sodass sich für die verschiedensten Anwendungen die passende Lösung finden lässt. Dabei profitiert der Anwender in allen Fällen davon, dass Abnutzung bei dieser Technik nicht zu befürchten ist, da es keine Zahnräder, Lager oder andere verschleißanfällige Mechanik gibt.

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